◆ Z 轴装有数显弧形标尺，可以提供更大的测量范围和更高的分辨率，从而不必再依靠测量倍率。
◆可以应用数据分析系统（个人计算机和Formpak 软件） 。

 X轴

测量范围

100mm（CV-2100）

分辨率

0.1μm

测量方法

反射型线性编码器

驱动速度

0.2,1mm/s和手动

测量速度

0.02-5mm/s

测量方向

向后

直线度

2.5μm /100mm(CV-2100)

*当X轴在水平方向上

指示精度

（20℃）

±（2.5+0.02L）μm

L为驱动长度（mm）

倾斜范围

±45°（CV-2000）

Z1轴

测量范围

25mm（CV-1000）或40mm（CV-2000）

分辨率

0.1μm（CV-2100系列）

测量方法

弧形编码器

指示精度

（20℃）

±（2.5+0.1H）μm）

H为水平位置上的测量高度（mm）

探针上下运作

弧形运动

探针方向

向下

测力

10-30mN

跟踪角度

向上

77°

向下

87°

探针针尖

半径

25μm

材料

硬质合金针尖

尺寸（LxH）

745x450x885mm（CV-2000）

基座材料

花岗岩（CV-2100）

重量

主机

145.8kg（CV-2000M4)

控制装置

14kg 

遥控箱

0.9kg

电源

100-240VAC±10% 50/60Hz

能耗

150W仅限主机

Z2轴（立柱，仅用于CV-2100）

立柱类型

电动（S4型）和手动（M4型）

垂直行程

250mm（S4型）和320mm（M4型）

分辨率

0.2um（S4型）

检测方法

ABSOLUTE线性编码器（S4型）

驱动速度

0-5mm/s和手动

型号

CV-1000N2

CV-2000N4

CV-2000S4

X1轴测量范围

50mm

100mm

100mm

Z1轴测量范围

25mm

40mm

40mm

Z2轴测量范围

-

250mm

320mm