MF 测量显微镜具有可扩展性，如与三丰Vision Unit 一起使用可提高其性能，或者可在PC 中进行数据管理，从而确保提高效率。

2轴(X, Y)

MF-A505B

MF-A1010B

MF-A2010B

MF-A2017B

MF-A3017B

MF-A4020B

176-561DC

176-562DC

176-563DC

176-564DC

176-565DC

176-566DC

3轴 (X, Y, Z)

MF-B505B

MF-B1010B

MF-B2010B

MF-B2017B

MF-B3017B

MF-B4020B

176-581DC

176-582DC

176-583DC

176-584DC

176-585DC

176-586DC

X Y工作台测量范围

50x50mm

100x100mm

200x100mm

200x170mm

300x170mm

400x200mm

Z轴行程范围

150mm

220mm

分辨率

0.001mm/0.0005mm/0.0001mm 可转换

X Y测量精度(20°C)

(2.5+0.02L)μm (L = 无负载测量长度mm)

Z测量精度(20°C)

(5+0.04L)um （L = 测量长度mm）

物镜倍率

3X （标准件No. 375-037）可选：1X, 5X, 10X, 20X, 50X, 100X

目镜倍率

标准:10X ;配件: 15X, 20X

对焦方式

手动(粗调10mm/rev,微调0.1mm/rev)

移动功能

带有快速断开机构的X Y轴

工作台尺寸

280×280mm

280×280mm

350×280mm

410 x 342mm

510×342mm

610×342mm

工作台玻璃台

180×180mm

180×180mm

250×150mm

270x 240mm

370x 240mm

440x 240mm

工作台旋转

—

—

—

±5°

±5°

±3°

大被测工件高度

150mm

150mm

150mm

220mm

220mm

220mm

大工作台载重量

15Kg

15Kg

15Kg

20Kg

20Kg

15Kg